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|냉각장치 관련 소송, 분쟁 핵심 챔버 개폐장치 관련 건도 ‘1차 판정승’ 에이치피에스피(HPSP)가 예스티(YEST)로부터 특허심판원에 피소됐던 소극적 권리범위확인 심판에서 ‘각하’ 판정을 받았다. 양측 특허 분쟁의 중심인 ‘반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치’ 첫 심판에서 지난해 승기를 잡은 이후 재차 받은 유리한 판결이다. 다만 이번 결론에 대해 양측의 입장은 엇갈린다. 11일 반도체업계에 따르면 특허심판원은 이달 7일 제1576056호 특허 […]
